半導体評価精度を10倍に向上 2021/9/21 最終更新日時 : 2021/9/21 サイト管理者 高精度テラヘルツエリプソメトリにより GaNやSiCなどの半導体評価精度を10倍以上に向上 - リソウ (osaka-u.ac.jp)
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