ラインナップ
自動試料ステージUNIT
本器は、PNP社製テラヘルツ分光機『Tera Prospecor』に搭載可能な自動試料ステージです。ステージに取り付けられた試料取り付けプレートに６試料（１か所は、リファレンス測定用に使用します。オプションにて試料数の変更も可能です。）を取り付けることにより、試料カバーを開放することなく連続して試料の測定が可能になります。
試料カバーを開放する回数を抑え、測定効率の向上と水蒸気の流入を最小限にとどめます。
透過自動ステージUNIT
6試料(1か所はリファレンス用)の透過測定が連続でできます。
仕様
| 機種 | 【TP-TRM-1】 |
| 測定方式 | 透過測定 |
| 外形寸法／重量 | W140×D190×H195 / 2.3kg |
| 電源およびコントローラ | Tera Prospector標準装備 |
| 接続方法 | コネクタとの接続 |
| 試料形態／必要サイズ | 固体／φ10mm以上 |
| 制御方法 | コンピュータによるサンプル位置選択 |
反射自動ステージUNIT
6試料(1か所はリファレンス用)の反射測定が連続でできます。
仕様
| 機種 | 【TP-RFL-1】 |
| 測定方式 | 反射測定 |
| 外形寸法／重量 | W200×D225×H197 / 4.0kg |
| 電源およびコントローラ | Tera Prospector標準装備 |
| 接続方法 | コネクタとの接続 |
| 試料形態／必要サイズ | 固体／φ10mm以上 |
| 制御方法 | コンピュータによるサンプル位置選択 |
透過平行光束ステージ
本製品は、テラヘルツ分光装置『Tera Prospector』に搭載可能な透過平行光束ステージです。
このステージを試料室に設置し、検出用の光路長を調整することで、平行光束による透過測定ができます。
仕様
| 機種 | 【TP-PLF-1】 |
| ビーム径 | φ12mm |
| 光軸 | 入射光軸に対して、10.3°傾斜 |
| 試料ステージ | 単一試料ステージ/回転ステージ |
マッピングUNIT
本製品は、テラヘルツ分光装置「TeraProspector」に搭載可能なマッピングステージ UNIT です。
仕様
| 機種 | 【TP-MAP-1】 |
| 測定面 可動範囲 | 100mm×100mm |
| 測定面 最小ステップ間隔 | 0.1mm |
| 測定可能試料サイズ | φ50, 75, 100mmウエハ |
| 水蒸気除去環境 | 乾燥空気(真空非対応) |
| クリーン環境 | 非対応 |
| 外形寸法/質量 | W135×D373×H443 / 6.0kg |
液体セル/サンプルステージ
本製品は、テラヘルツ分光装置『TeraProspecor』に搭載可能な組み立て式の液体セル用サンプルステージで、透過自動試料ステージにセットして使用します。
窓材の間にスペーサーを挿入することでセル厚を制御します。
付属品の液体セルは、標準で２個付属されます。
仕様 (液体セル用サンプルステージ)
| 型番 | 【TP-LQD-1】 |
| 最大セット数 | 6個 |
| 対応試料ステージUNIT | 透過自動試料ステージUNIT |
仕様 (液体セル(付属品))
| 型番 | 【TP-LQC-1】 |
| 外径 | φ40mm, 厚さ10.6mm |
| セル厚 | 50μm～200μm(50μm刻み) |
| 窓板 | 厚さ:1mm±0.05 (テラヘルツ領域、可視領域で透明な窓材を使用) |
| 開口径 | φ9mm |
加熱試料ステージ
本製品は、テラヘルツ分光装置『TeraProspecor』に搭載可能な透過測定用加熱ステージ UNIT です。
試料部分は断熱のため、真空に引いて使用します。真空引きは試料をセットした後に手動にて行ない、真空で封じ切った UNIT を試料室にセットして測定します。
温度は試料を接触させる金属部の温度をモニターし、電熱ヒーターより制御します。
排熱用にチラーを使用し、冷却水を循環して使用します。
仕様
| 機種 | 【TP-HEA-1】 |
| 温度可変範囲 | 室温 +10℃～+300℃ |
| 安定度 | ±1.0℃/h 以下 |
| 加熱方式 | 電熱ヒーター |
| 温度センサ | K熱電対 |
| 測定試料 | 標準：1試料、φ12mm～φ30mm、厚さ3mm以下 |
| 開口径 | 標準：φ10mm |
| 真空度 | 50Pa以下(注1) |
| 電源 | 単相 AC100V(50/60Hz) 5A (温度制御用) 単相 AC100V(50/60Hz) 8A (チラー用) |
(注1) 真空ポンプは付属しませんのでお客様でご準備願います。
温調UNIT
本製品は、設置環境の温度変化に非常にデリケートなテラヘルツ分光装置を、安定した温度環境下でより正確な測定を可能にする為のユニットです。
仕様
| 型番 | 【T-TCU-1】 |
| 温度制御精度 | ±0.1℃(吹出口空気温度) |
| 設定温度範囲 | 20℃～30℃ ※設定可能な温度範囲です。 設定温度を決定する上では、温調カバーの温度を確認して、適切な温度に設定してご使用ください。 |
| 電源 | 単相 AC 100V |
防湿UNIT
本製品は、防振台上に設置された水蒸気の影響が問題となる装置に対し、水蒸気の影響を軽減する為の防湿カバー、乾燥空気供給装置がセットになったユニットです。
テラヘルツ分光装置『Tera Prospector -Kit model』やテラヘルツ分光装置に用いるフェムト秒レーザー等に有効です。
仕様
| 型番 | 【TPK-DRY-1】 |
| 光路部 | 開放型(ウィンドウなし) |
| 露点温度(光学系部) | -40℃以下 |
| 露点温度(供給装置) | -60℃以下 |
| 最大供給量 | 20NL/min以上 |
| 電源 | AC 100V 10A |
アンテナ素子ホルダーUNIT
THz-TDS による分光計測を目的とした光伝導アンテナ素子を用いた光源および検出器です。
φ12 ㎜、φ26 ㎜、φ47 ㎜と 3 種類の Si 超半球レンズのバリエーションを揃え、目的の計測に合わせてアンテナを選択頂くことができます。
バイアス電圧および検出信号は SMA コネクタを用いて簡単に接続できます。
仕様
| 型番 | 【AHH12-XXX】 | 【AHH26-XXX】 | 【AHH47-XXX】 |
| 外径寸法 |
W25.0×D25.0×H48.5 (取付ベース: W25×D25) |
W45.0×D40.0×H58.0 (取付ベース: W40×D40) |
W65.0×D40.3×H78.0 (取付ベース: W40×D40) |
| Siレンズ | φ12mm超半球Siレンズ | φ26mm超半球Siレンズ | φ47mm超半球Siレンズ |
| アンテナ | ダイポール/ボウタイ/ストリップライン | ||
| コネクタ | SMA | ||